폐수재활용해 반도체·LCD 세정용 '초순수' 제조

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폐수 재활용을 통해 반도체·LCD 등의 미세불순물 세정에 사용되는 초순수로의 활용율을 획기적으로 높이는 기술이 개발되어 화제다.

삼성코닝정밀유리는 충남 탕정의 천안사업장에서 약10개월에 걸쳐 폐수를 이용한 초순수의 재생산 비율을 3배 증가시키는 공정개선 프로젝트에 성공했다고 1일 밝혔다.

초순수란 여과, 역삼투, 이온교환, 살균소독 등의 과정을 거쳐 물 속의 염분이나 미생물 등의 불순물을 제거한 최대한 순수한 화합물로 생각할 수 있는 수준에 가까운 물이다. 이온 성분이 없어 전기가 통하지 않는 상태의 물로써 주로 LCD, 반도체 등의 초정밀 제조 공정에서 사용된다.

삼성코닝정밀유리는 TFT-LCD用 기판유리를 생산에서 용해로에서 녹인 유리물을 '수직직하' 방식으로 떨어뜨려 기판유리를 형성하는 표면비접촉 '코닝퓨전방식'을 채택하고 있으며, 수평으로 유리물을 흘려, 접촉표면을 다시 연마해야 하는 타공법에 비해, 최고의 표면품질을 제공하는 것으로 평가받고 있다.

'코닝퓨젼방식'에서는 최종 고객출하전, 유리물에서 형성된 기판유리의 공정이동간 표면에 붙은 눈에 보이지 않는 미립먼지제거를 위해 초순수를 사용하여, 세정공정을 거치게 된다.

사내로 들어온 공업용수는 초순수제조설비(Deionized Water Manufacturing facility)를 통해 초순수로 정제되어, 기판유리 세정에 사용된 후 폐수로 배출되는 데, LCD TV用 대형기판의 수요급증으로 천안사업장을 중심으로 한 전략적 증설로 인한 공업용수의 사용량 증가 및 초순수 제조를 위한 설비투자가 증가되어 왔다.

이 점에 착안 삼성코닝정밀유리는 생산-설비-환경부서의 협업으로 6시그마 기법을 활용, 초순수 제조공정에서 세정공정의 전 라인을 점검해, ▲ 필터링방식의 폐수처리 시스템을 설치하고,▲ 폐수성분별 별도 배관을 설치, COD(화학적 산소요구량)를 저감시키는 등으로, 재활용 원수의 오염도를 낮춰 초순수 제조설비의 효율을 극대화 하는 방식으로 기존 30%대에 불과하던 폐수의 초순수 재활용율을 90%에 가깝게 끌어올리는 등 성과를 달성했다.

이를 통해, 초순수 제조를 위한 공업용수 유입량과 폐수 방류량은 년간 300만톤 이상(각각 60%와 70%정도) 감소되었으며 각종 폐수처리 및 초순수설비운영, 설비투자절감 등 연간 100억원에 달하는 원가절감 효과를 가져오게 되었다.

삼성코닝정밀유리 관계자는 "이번 프로젝트의 성공으로 회사 뿐만 아니라, 탕정 크리스털 밸리로 유입되는 폐수의 양도 줄어 단지 전체의 수자원 보호에도 큰 성과가 있다" 며 "향후 예상되는 대대적인 증설에도 별도의 Infra투자 없이 사업장 운영이 가능하다는 것을 보여준 "차별화+효율경영"의 대표적인 성공사례"라고 말했다.

                                                               2007.02.02

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